中科院合肥物質科學研究院

尤暉
單位：中科院合肥智能機械研究所
地址：安徽省合肥市西郊科學島1130號信箱
郵編：230031
電話：0551-65591115
個人主頁：http://sourcedb.hf.cas.cn/zw/rck/201308/t20130822_3916980.html

個人簡歷  Personalresume 
尤暉，男，1968年生，研究員、博士生導師，中國科學院“百人計劃”學者。1999年畢業(yè)于中國科學技術大學精密儀器與機械專業(yè)，獲得博士學位。同年，赴日本立命館大學擔任博士后，從事生物芯片和LIGA工藝研究。2001年轉赴英國，在赫特福德郡大學從事基于硅-塑料復合工藝的微流體器件研究。2002-2004年在劍橋大學擔任博士后，從事微流體技術在生物醫(yī)學的應用研究。2004年在英國紐卡斯爾大學納米技術研究所獲得永久職位,負責該所的設計仿真研究和教學工作，并從事MEMS和微流體系統(tǒng)的商業(yè)和國防應用研究。2008年轉任英國集成技術研究所高級研究員(永久職位)，負責微流體技術及其在聲化學方面應用研究并帶研究生。2010年底，回國加入中科院合肥物質研究院智能所，并任中國科技大學和中國科學院大學（原中科院研究生院）博士生導師，入選中科院“百人計劃”。回國后，在智能所建立超聲微流體實驗室，繼續(xù)從事MEMS和微流體技術研究，承擔了多項研究課題，包括國家自然科學基金、科技部科技支持項目、國家重點實驗室儀器專項、中科院戰(zhàn)略性先導科技專項（A類）、安徽省科技攻關重點項目等。主要研究方向：微流體技術及其在生物醫(yī)學及農業(yè)上的應用、MEMS超聲波器件、MEMS仿真設計含固-液-聲耦合仿真、微傳感器，微致動器、微加工工藝、微納制造工藝兼容性等。

研究方向  Researchdirection 
1、微流控技術與生物芯片
2、MEMS（微電子機械系統(tǒng)）