華中科技大學(xué)

個(gè)人基本情況

廖廣蘭(Liao Guanglan，Professor)，男，華中科技大學(xué)機(jī)械科學(xué)與工程學(xué)院機(jī)械電子與信息工程系教授、博士生導(dǎo)師，中國(guó)機(jī)械工程學(xué)會(huì)、中國(guó)微米納米技術(shù)學(xué)會(huì)高級(jí)會(huì)員。2009年參與國(guó)家級(jí)教學(xué)團(tuán)隊(duì)《機(jī)械學(xué)科測(cè)控課程群教學(xué)團(tuán)隊(duì)》、2011年入選教育部新世紀(jì)優(yōu)秀人才支持計(jì)劃、2012年獲得國(guó)家優(yōu)秀青年科學(xué)基金資助、2013年作為核心人員參加教育部創(chuàng)新團(tuán)隊(duì)《微納制造與納米測(cè)量技術(shù)》。近年來(lái)主要從事微納制造、微電子封裝及測(cè)試等方面的教學(xué)科研工作，主持5項(xiàng)國(guó)家自然科學(xué)基金委優(yōu)秀青年基金、面上項(xiàng)目、青年基金及對(duì)外交流與合作項(xiàng)目，參與國(guó)家973、863、重大專項(xiàng)項(xiàng)目等十余項(xiàng)，在ACS Nano、Nanoscale Research Letters、IEEE Trans.、Sensor Actuat A-phys等雜志發(fā)表學(xué)術(shù)論文百余篇，其中錄用和發(fā)表SCI刊源論文50余篇，多篇文章被Nature Photonics、Nano Lett.、Acs Nano等雜志引用。申請(qǐng)國(guó)家發(fā)明專利36項(xiàng)，獲得授權(quán)12項(xiàng)。

電話：027-87793103

郵箱：guanglan.liao@hust.edu.cn

教師主頁(yè)平臺(tái)：http://faculty.hust.edu.cn/liaoguanglan/zh_CN/index.htm

主要研究方向

微納制造與測(cè)試

微電子封裝

故障診斷

開(kāi)設(shè)課程

《工程測(cè)試技術(shù)》

《微細(xì)加工與納米技術(shù)》

《軟件技術(shù)基礎(chǔ)》

《數(shù)據(jù)庫(kù)技術(shù)》

近年的科研項(xiàng)目、專著與論文、專利、獲獎(jiǎng)承擔(dān)的科研項(xiàng)目：

1. 國(guó)家自然科學(xué)基金委優(yōu)秀青年基金“仿生微納制造與應(yīng)用研究”(2013-2015)

2. 國(guó)家自然科學(xué)基金面上項(xiàng)目“染料敏化太陽(yáng)能電池光陽(yáng)極結(jié)構(gòu)的仿生設(shè)計(jì)與可控制備”(2012-2015)

3. 國(guó)家自然科學(xué)基金面上項(xiàng)目“熱/聲激勵(lì)的高密度超細(xì)間距倒裝焊缺陷診斷方法研究”(2010-2012)

4. 國(guó)家自然科學(xué)基金青年基金“MEMS封裝失效的診斷與預(yù)測(cè)方法研究”(2005-2007)

部分授權(quán)發(fā)明專利：

1. 一種硅濕法刻蝕工藝ZL 200510019052.4

2. 一種三維微型模具的制造方法ZL 200810047229.5

3. 一種短波長(zhǎng)光輔助硅片直接鍵合方法ZL 200810047324.5

4. 一種芯片焊點(diǎn)缺陷在線檢測(cè)方法及裝置ZL 201010160537.6

5. 一種仿蝴蝶磷翅分級(jí)多層非對(duì)稱微納結(jié)構(gòu)的制備方法ZL 201010160958.9

6. 一種仿生微納結(jié)構(gòu)制備方法ZL 201010161272.1

7. 用于制造太陽(yáng)能電池光陽(yáng)極的方法及其產(chǎn)品ZL 201110421633.6

8. 一種仿壁虎腳結(jié)構(gòu)材料制造工藝ZL 201210168024.9

9. 一種太陽(yáng)能電池光陽(yáng)極的微納復(fù)合結(jié)構(gòu)及其制備方法ZL 201210179386.8

10. 一種磁場(chǎng)輔助的硅微納加工工藝及裝備ZL 201210192208.9

11. 一種擴(kuò)散焊制備多層非晶合金與晶態(tài)金屬?gòu)?fù)合結(jié)構(gòu)的方法ZL 201210388962.X

12. 一種微米管制造工藝ZL 201310025430.4

榮譽(yù)與獎(jiǎng)勵(lì)：

1. 2009年參與國(guó)家級(jí)教學(xué)團(tuán)隊(duì)《機(jī)械學(xué)科測(cè)控課程群教學(xué)團(tuán)隊(duì)》

2. 2011年入選教育部新世紀(jì)優(yōu)秀人才支持計(jì)劃

3. 2012年獲得華中科技大學(xué)第三屆研究生導(dǎo)師“治學(xué)楷模”師表獎(jiǎng)

4. 2012年獲得國(guó)家自然科學(xué)基金優(yōu)秀青年基金

5. 2012年被聘為華中學(xué)者“晨星崗”

6. 2013年作為核心人員參加“微納制造與納米測(cè)量技術(shù)”教育部創(chuàng)新團(tuán)隊(duì)

代表性著作：

1. Wenjun Sheng, Bo Sun, Tielin Shi, Xianhua Tan, Zhengchun Peng, Guanglan Liao*. Quantum Dot-Sensitized Hierarchical Micro/Nanowire Architecture for Photoelectrochemical Water Splitting. ACS Nano. 2014, 8(7): 7163-7169

2. Guanglan Liao, Tielin Shi, Xiaohui Lin, Ziwen Ma. Effect of surface characteristic on room-temperature silicon direct bonding. Sensors and Actuators A-Physical. 2010, 158: 335-341

3. Xianhua Tan, Tielin Shi, Yang Gao, Wenjun Sheng, Bo Sun and Guanglan Liao*. Fabrication of micro/nanotubes by mask-based diffraction lithography. Journal of Micromechanics and Microengineering. 2014, 24(5): 055006.

4. Xuefeng Yang, Zhengchun Peng, Haibo Zuo, Tielin Shi, Guanglan Liao*. Using hierarchy architecture of Morph butterfly scales for chemical sensing: Experiment and modeling. Sensors And Actuators A-Physical. 2011,167: 367-373

5. Peng P, Liao GL*, Shi TL, Tang ZR, Gao Y. Molecular dynamic simulations of nanoindentation in aluminum thin film on silicon substrate. Applied Surface Science, 2010, 256, 6284-6290