集成電路制造工藝——21世紀高職高專系列教材
- 所屬分類：
高職高專機..
- 作者：
林明祥 編著
- 出版社：
機械工業出版社
- ISBN：9787111173007
- 出版日期：2005-10-1
-
原價：
￥24.00元
現價：￥19.60元
圖書簡介
本書是依據高等職業教育的特點編寫的，是一本將集成電路的制造工藝原理和制造技術融為一體的教材。
由于硅器件占據了微電子產品的絕大部分領域，所以本教材以硅平面工藝為主線，同時也介紹砷化鎵之類其他工藝。本書共15章，介紹了硅單晶制備；外延、氧化、濺射（蒸發）、化學氣相淀積等薄膜制備技術；擴散、離子注入等摻雜技術；制版、光刻、刻蝕、CAD等圖形加工技術；金屬化和平坦化、組裝工程、產品可靠性，以及潔凈技術、去離子水制備等外圍加工技術。
本書適合作為高職高專電子信息技術相關專業的教材，也適合作為從事微電子專業的中高級技術工人的培訓教材。
目錄
出版說明
前言
第1章 緒論
1.1 微電子器件工藝的發展歷史
1.2 集成電路的發展歷史
1.3 集成電路制造工藝實例
第2章 硅的晶體結構和硅單晶體制備
2.1 硅的晶體結構
2.2 硅晶體中的缺陷和雜質
2.3 硅單晶體制備
2.4 硅單晶的加工及質量要求
2.5 習題
第3章 氧化及熱處理
3.1 二氧化硅的結構、性質和用途
3.2 硅的熱氧化
3.3 二氧化硅生長的其他方法
3.4 二氧化硅膜質量控制
3.5 熱處理
3.6 習題
第4章 摻雜
4.1 擴散原理及模型
4.2 擴散方法
4.3 擴散層參數測量和質量分析
4.4 離子注入
4.5 習題
第5章 光刻
5.1 光刻的工藝要求
5.2 光刻膠的組成材料及感光原理
5.3 光刻工藝
5.4 光刻質量分析
5.5 習題
第6章 刻蝕
……
第7章 化學氣相淀積
第8章 物理氣相淀積
第9章 制版
第10章 金屬化與平坦化
第11章 潔凈技術
第12章 去離子水制備及廢水處理
第13章 組裝工藝
第14章 器件的可靠性
第15章 ULSI工藝總匯
附錄
參考文獻
同類熱銷圖書
| 書名 | 作者 | 出版社 | 價格 | 購買 |
| 電機設計（高等院校電氣工程系列教材） | 戴文進 等.. | 清華大學出版社 | ￥48.00￥38.40 |
詳情 |
| 新編金屬工藝學 | 徐桂蘭 主.. | 北京大學出版社 | ￥34.00￥27.20 |
詳情 |
| 機械設計基礎——21世紀高職高專規劃教材·機電系列 | 劉穎，馬春.. | 北方交通大學出版.. | ￥19.00￥14.40 |
詳情 |
| 機械制圖（第2版）(高職高專）（十二五） | 章毓文，黃.. | 北京航空航天大學.. | ￥29.00￥21.40 |
詳情 |
| SMT——表組裝技術 | 何麗梅 主.. | 機械工業出版社 | ￥20.00￥16.30 |
詳情 |
| 自動檢測技術及應用（高職高專機電一體化專業規劃教材） | 劉麗華 主.. | 清華大學出版社 | ￥28.00￥21.00 |
詳情 |
| 汽車維修技能學習工作頁 （1-4） | （德）里查.. | 機械工業出版社 | ￥49.80￥39.80 |
詳情 |
| 建筑制圖識圖與CAD (普通高等教育高職高專土建類“十二五.. | 王小樹 主.. | 水利水電出版社 | ￥33.00￥26.40 |
詳情 |
| 鑄造工——高等職業技能操作與實訓教材 | 化學工業出版社 | ￥15.00￥11.30 |
詳情 | |
| 設備故障診斷與維護技術(高等職業教育機電工程精品課程十.. | 傅貴興 主.. | 西南交通大學出版.. | ￥39.50￥33.60 |
詳情 |
| 液壓與氣動技術（第2版） | 黃志昌，黃.. | 電子工業出版社 | ￥39.80￥33.00 |
詳情 |
| 機械加工工藝方案設計及案例 | 陳宏鈞 主.. | 機械工業出版社 | ￥23.00￥18.40 |
詳情 |
| 建筑與裝飾材料（第三版） | 宋巖麗 編 | 中國建筑工業出版.. | ￥28.00￥21.60 |
詳情 |
| PowerMILL數控加工編程實用教程（配光盤） | 朱克憶 編.. | 清華大學出版社 | ￥37.00￥28.10 |
詳情 |
| 焊接冶金學 (基本原理) | 張文鉞 主.. | 機械工業出版社 | ￥25.00￥20.80 |
詳情 |
| 普通高等教育“十二五”規劃教材 普通高等教育“十一五”.. | 何永華 主.. | 中國電力出版社 | ￥24.50￥19.60 |
詳情 |
| 變頻器原理及應用（高職高專機電一體化專業規劃教材） | 徐海，施利.. | 清華大學出版社 | ￥32.00￥25.60 |
詳情 |
| 電子產品工藝與管理 | 趙便華 主.. | 機械工業出版社 | ￥25.00￥18.70 |
詳情 |
| 模具材料及制造工藝（21世紀高職高專規劃教材·模具設計與.. | 李衛民 主.. | 中國人民大學出版.. | ￥28.00￥24.60 |
詳情 |
| 板料成形CAE設計及應用--基于AUTOFORM(第2版) | 李飛舟 主.. | 北京航空航天大學.. | ￥29.00￥23.20 |
詳情 |
| 數控機床電氣控制(第2版全國高職高專教育十一五規劃教材)/.. | 廖兆榮，楊.. | 高等教育出版社 | ￥33.80￥32.10 |
詳情 |
| 工程力學（高職高專） | 蔣永敏 主.. | 中航出版傳媒有限.. | ￥29.80￥20.90 |
詳情 |
| 機械制圖習題集（全國高職高專機械設計制造類工學結合“十.. | 盛艷君，鄭.. | 華中科技大學出版.. | ￥36.00￥24.90 |
詳情 |
| 激光加工工藝與設備 | 鄭啟光，邵.. | 機械工業出版社 | ￥25.00￥20.40 |
詳情 |
| PowerMILL數控加工編程實用教程（配光盤） | 朱克憶 編.. | 清華大學出版社 | ￥37.00￥28.10 |
詳情 |
