中科院上海微系統與信息技術研究所

中國科學院上海微系統與信息技術研究所原名中國科學院上海冶金研究所，是我國著名的技術學科綜合性研究所之一。其前身是成立于1928年的國立中央研究院工程研究所，新中國成立后隸屬于中國科學院，曾命名為中國科學院工學實驗館、中國科學院冶金陶瓷研究所。1958年、1959年本所先后分出組建了長沙礦冶研究院、昆明貴金屬所、中國科學院上海硅酸鹽研究所，又先后更名為中國科學院冶金研究所、中國科學院上海冶金研究所。2001年8月，根據研究所近年來科研領域的變遷和科技發展戰略目標的調整，經中國科學院和國家有關部門批準將所名更改為中國科學院上海微系統與信息技術研究所（以下簡稱上海微系統所）。

上海微系統所自新中國成立以來已獲得國家級獎勵50余項、部委省市級獎勵330余項。本所于50年代在國內率先研制成功球墨鑄鐵，并成功解決了包頭高含氟鐵礦的冶煉和稀土元素回收問題；60年代初研制成功用于濃縮鈾235的關鍵部件“甲種分離膜”，該項目負責人吳自良院士作為“兩彈一星”功臣之一于1999年9月18日受到黨中央、國務院和中央軍委的表彰；60年代以后，本所又在國內率先建立了超純金屬和III-V族化合物半導體材料研究基地和發展了微電子和集成電路制造技術，與工業部門合作研制出國內第一塊工業實用PN結隔離集成電路、ECL高速電路、國內第一塊8位、16位微處理器等微電子器件，80年代中期利用微電子技術基礎開展了微電子機械系統（MEMS）和SOI材料的研究，90年代末和20世紀初開展了低軌衛星通信技術、無線傳感器網絡和新一代移動通信技術的研究，為國民經濟發展、國家安全和社會進步作出了重大貢獻。

1998年12月，上海微系統所首批進入中國科學院知識創新工程試點序列，經對科技活動目標進一步凝煉，確定將本所建成一個以集成微系統為核心科技活動方向的、基礎技術力量雄厚的、富有持續創新活力的、開放的、國內一流和國際知名的研究所。本所以國家需求為導向，圍繞“電子科學與技術”、“信息與通信工程”兩大學科方向，利用本所在功能材料與器件研究方面的積累和微電子工藝技術平臺為支持，以“無線傳感微系統網、微系統技術平臺、新一代移動通信技術”幾個重大項目為依托，以系統帶器件、器件帶材料，加強原始創新，加強關鍵技術創新與集成研究，開展低軌通信小衛星及星座系統、集成微光機電系統、無線信息微系統、半導體微結構材料與器件、太赫茲物理與器件、納電子材料與器件、SOI材料與器件、新型、高效微能源系統等研究活動。目前全所共有6個研究室：傳感技術聯合國家重點實驗室/微系統技術國家級重點實驗室、信息功能材料國家重點實驗室、半導體功能薄膜工程研發中心/納米技術實驗室、微系統信息網研發中心、能源科學與技術研究室、寬帶無線移動通信研究室；六個與地方共建的中心：上海微小衛星工程中心、上海無線通信研究中心、中國科學院嘉興無線傳感網工程中心、中國科學院無錫高新微納傳感網工程技術研發中心、中國科學院南京寬帶無線移動通信研究中心、中科院杭州射頻識別技術研發中心。上海微系統所擁有硅MEMS加工和封裝、化合物半導體材料MBE生長和半導體器件研制、微系統網絡設計和測試等技術平臺、以及微系統、微結構器件、半導體微結構材料的研究設備和研究能力。

全所現有在職職工716名，其中科研、管理和支撐技術人員581名，有中國科學院院士2名，中國工程院院士1名，美國國家科學院外籍院士1名，正副研究員133名。此外，全所有370名在讀研究生和27名博士后。