中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)電子科學(xué)與技術(shù)研究生導(dǎo)師介紹：張澤洪

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張澤洪
單位：中國(guó)科學(xué)院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所
地址：江蘇省蘇州工業(yè)園區(qū)若水路398號(hào)
郵編：215123
電話：0512-62872725
個(gè)人主頁(yè)：http://sourcedb.sinano.cas.cn/zw/zjrck/201109/t20110926_3354280.html

個(gè)人簡(jiǎn)歷  Personalresume 
1999年清華大學(xué)本科畢業(yè)，2002年中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體所碩士畢業(yè)，2005年美國(guó)UniversityofSouthCarolina大學(xué)博士畢業(yè)，并從事博士后工作。2006年任職美國(guó)硅谷應(yīng)用材料公司AppliedMaterial,Inc，任資深關(guān)鍵客戶技術(shù)師。2011年，加入中科院蘇州納米所，受聘為研究員（百人計(jì)劃/青年****）、博士生導(dǎo)師。美國(guó)UniversityofSouthCarolina寬帶隙半導(dǎo)體組是世界頂尖的研究SiC和GaN材料和器件的實(shí)驗(yàn)室。該實(shí)驗(yàn)室的SiC研究曾經(jīng)得到經(jīng)費(fèi)支持累計(jì)約1800萬(wàn)美元。在該組攻讀博士和博士后期間，主要從事SiC外延CVD設(shè)備的研制，工藝開發(fā)，位錯(cuò)分析及器件測(cè)試。在期刊和國(guó)際會(huì)議文集上發(fā)表第一作者論文十余篇，其中4篇發(fā)表在Appl.Phys.Lett.上。應(yīng)用材料公司是全球最大的半導(dǎo)體設(shè)備和太陽(yáng)能設(shè)備提供商。在應(yīng)用材料任職期間，曽為多名關(guān)鍵客戶，包括德國(guó)原AMD,新加坡特許半導(dǎo)體，IBM,臺(tái)灣南亞，華亞，華邦，力晶、瑞晶，奇夢(mèng)達(dá)，美光，臺(tái)積電等提供大規(guī)模集成電路制造用設(shè)備和工藝技術(shù)。曾經(jīng)負(fù)責(zé)過的設(shè)備產(chǎn)品包括MOCVD,CVD,PVD,ALD,PEALD,Preclean等。

研究方向  Researchdirection 
1、半導(dǎo)體材料與器件物理