華中科技大學機械科學與工程學院研究生導師：陳修國

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華中科技大學機械科學與工程學院研究生導師陳修國介紹如下：

姓名：陳修國

電話：027-87558045

職稱：講師

郵箱：xiuguochen@hust.edu.cn

個人基本情況

陳修國（Chen Xiuguo, Lecturer），男，博士。2013年6月博士畢業于華中科技大學機械電子工程專業，同年進入華中科技大學材料學院博士后流動站，2016年6月出站，留校工作。

主要從事微納光學測量技術與儀器方面的研究工作。在Applied Physics Letters、Optics Express、Journal of Applied Physics、Review of Scientific Instruments等國際著名期刊發表SCI論文20余篇；申請國際國內發明專利10余項，其中授權專利9項。

曾獲山東省優秀畢業生、華中科技大學優秀畢業研究生、華中科技大學優秀博士后、第四屆上銀優秀機械博士論文佳作獎、機械學院“優秀博士后獎勵計劃”、第43屆日內瓦國際發明金獎(排名3)等榮譽。

目前，主持有國家自然科學基金青年基金項目1項、中國博士后科學基金面上項目一等資助和特別資助項目各1項。作為項目骨干，先后參入了國家重大科學儀器設備開發專項、國家自然科學基金重大研究計劃培育項目等5項。

主要研究方向

微納光學測量技術與儀器

開設課程

1. 數字電路

2. 光譜橢偏測量概論

近年的科研項目、專著與論文、專利、獲獎承擔的科研項目：

[1]  國家自然科學基金青年基金項目，納米結構廣義成像橢偏儀橢偏測量理論與方法研究，51405172，2015/01–2017/12

[2]  中國博士后科學基金特別資助項目，基于離焦掃描廣義成像橢偏儀的三維納米結構測量方法，2015T80791，2015/04–2016/09

[3]  中國博士后科學基金面上項目 (一等資助)，基于廣義成像橢偏儀的納米結構幾何參數測量方法研究，2014M560607，2014/07–2015/07

代表性著作：

[1]X. G.Chen, C. W. Zhang, and S. Y. Liu, “Depolarization effects from nanoimprintedgrating structures as measured by Mueller matrix polarimetry,” Applied PhysicsLetters 105(15), 151605, 2013

[2]X. G.Chen, S. Y. Liu, C. W. Zhang, and H. Jiang, “Improved measurement accuracy inoptical scatterometry using correction-based library search,” Applied Optics52(27), 6727-6734, 2013

[3]X. G.Chen, S. Y. Liu, C. W. Zhang, H. Jiang, Z. C. Ma, T. Y. Sun, and Z. M. Xu,“Accurate characterization of nanoimprinted resist patterns using Muellermatrix ellipsometry,” Optics Express 22(12), 15165-15177, 2014

[4]X. G.Chen, C. W. Zhang, S. Y. Liu, H. Jiang, Z. C. Ma, and Z. M. Xu, “Mueller matrixellipsometric detection of profile asymmetry in nanoimprinted gratingstructures,” Journal of Applied Physics 116(19), 194305, 2014

[5]X. G.Chen, S. Y. Liu, H. G. Gu, and C. W. Zhang, “Formulation of error propagationand estimation in grating reconstruction by a dual-rotating compensator Muellermatrix polarimeter,” Thin Solid Films 571, 653-659, 2014

[6]X. G.Chen, H. Jiang, C. W. Zhang, and S. Y. Liu, “Towards understanding thedetection of profile asymmetry from Mueller matrix differential decomposition,”Journal of Applied Physics 118(22), 225308, 2015

[7]X. G.Chen, W. C. Du, K. Yuan, J. Chen, H. Jiang, C. W. Zhang, and S. Y. Liu,“Development of a spectroscopic Mueller matrix imaging ellipsometer fornanostructure metrology,” Review of Scientific Instruments 87(5), 053707, 2016